| 股號 / 名稱 | ROE | 稅後淨利率 | 總資產週轉 |
| KLAC 科磊 | 0.22 | 0.37 | 0.2 |
| 2360 致茂 | 0.17 | 0.39 | 0.23 |
| AMAT 應用材料 | 0.1 | 0.28 | 0.21 |
| 3030 德律 | 0.09 | 0.31 | 0.21 |
| 7751 竑騰 | 0.08 | 0.25 | 0.16 |
| 3563 牧德 | 0.06 | 0.32 | 0.14 |
| 7822 倍利科 | 0.04 | 0.32 | 0.09 |
| CAMT Camtek Ltd. | 0.03 | 0.18 | 0.1 |
| ONTO Onto Innovation Inc. | 0.03 | 0.18 | 0.09 |
| 6983 華洋精機 | 0.02 | 0.21 | 0.08 |
| 3455 由田 | 0.01 | 0.06 | 0.09 |
| 3535 晶彩科 | 0.01 | 0.05 | 0.12 |
| 6877 鏵友益 | -0.02 | -0.32 | 0.06 |
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